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真空水泵選型
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1,真空泵的工作壓力應該滿足真空設備的真空壓力和工作要求的限制。如:真空鍍膜要求1 × 10 - 5mmHg的真空,真空泵選擇至少5 × 10 - 6mmHg。通常選擇真空泵真空設備真空超過半數一階magnitude.
2,泵的工作點的正確選擇。每個泵具有一定的工作壓力范圍,如:擴散泵10-310 - 7mmHg,在這樣一個廣泛的壓力范圍內,泵的抽速與壓力的變化,并以其穩定的工作壓力范圍為5 × 10 - 45 × 10 - 6mmHg。因此,泵的工作點應選在這個范圍內,但不屬于它在10 8mmHg長期工作。另一個例子是鈦升華泵可以工作在10 - 2mmHg,但工作壓力應well.
3小于1 × 10 - 5mmHg,真空壓力下泵在工作中,應能在真空中的放電過程設備的所有氣體。
4,真空泵的正確組合。作為一種選擇性抽真空,因此,有時用一泵不能滿足抽氣要求,結合起來,互為補充,以滿足通風要求幾個泵的需要。如鈦升華泵等具有較高的氫的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極不對稱陰極濺射離子泵)的抽速,在一定程度上氬氣,兩者一起,他們將獲得一個較好的真空裝置,使真空。此外,一些水泵不能工作在大氣壓力下,你需要預真空,有些低于大氣壓力泵出口壓力,你需要前級泵,古都的需要相結合,pump.
5,真空設備,以油污染的要求。如果無油設備的嚴格要求,你應該選擇一個非石油泵,如品種:水環泵,分子篩吸附泵,濺射離子泵,低溫泵等。如果要求不嚴格,你可以選擇一臺泵,加一些油污染防治措施,如增加冷阱,擋板,擋油水井等,也能達到清潔真空要求。
6,學會抽氣體成分,含不凝氣體蒸氣,有無顆粒灰塵或無腐蝕性。選擇真空泵,你需要知道氣體成分,被抽水泵選擇合適的氣體。如果氣體中含有蒸汽,粉塵及腐蝕性氣體應在泵管道的安裝輔助設備,如冷凝器,過濾器等,入口審議。
7,真空泵油蒸氣排出對環境的影響。如果環境不允許有污染,可以選擇到room.
8,真空泵工作時產生的過程,以及是否對環境的沖擊振動無油真空泵,或油蒸氣。如果進程是不允許的,沒有泵振動應選擇或服用抗震動measures.
9,真空泵的價格,運營和維護費用。 |
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